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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗?

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陈延森微微颔首:“硅基材料的应力释放有滞后性,预处理时得留0.3%的补偿量,不然抛光后冷却会出现回弹误差,先做事,有疑问随时问我。”

“小王,按这个参数调磁流变抛光机,先测第一块粗胚的应力分布。”

刘峰俊转头对身后的研究员吩咐,声音里带着难掩的急切。

陈延森没再多说,转身走向另一台设备。

接下来的一段日子,刘峰俊跟在陈延森屁股后面打转,完全是一副学生、助手兼跟班的姿态。

他越深入了解,越能体会到陈延森在超精密加工领域的惊人天赋。

曾几何时,刘峰俊也是高考状元,还考进了国防科大的少年班,在同龄人中属于科研天才,但在陈延森面前,却犹如蚍蜉望青天一般。

陈延森每天只会在庐州科大待两个小时,大部分工作由刘峰俊等人承担。

他们先开发了子孔径拼接技术,继而引入计算全息片技术,并通过配备原子力显微镜和光学散射仪,率先把检测精度提升到了皮米级别。

消息一出,沪城光学部的研发中心,所有人的精神瞬间为之一振。

毕竟有了测试工具,工艺改良就有了正确的方向可循。

另一边。

清华、华科协会仪器研制中心和北方微电子科技,在获得最新版的磁控溅射技术后,立即开始了靶材和镀膜设备的研发工作。

然而,首个难关就卡在了钼硅材料的纯度与微观结构的均匀性上。

陈延森在得知后,把真空热压烧结和等离子体致密化技术结合在一起,立马就打通了靶材纯度和结构上的拥堵点。

瓶颈一破,后续研发便如打通了任督二脉。

照明系统的研发进度突飞猛进!



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