使用效果、生产成本还是使用寿命，都难以满足低成本批量生产芯片的要求。还有一种办法就是多管齐下，比如台积电设计了一种电子束光刻机，让几千束电子束同时进行光刻，大大提高了光刻效率，而且还不用设计昂贵的掩膜版。但是这种设备生产成本会很高，而且效率依然比不上极紫外光刻机。至于电子散射问题，就得从光刻胶上下功夫了，现在有很多解决方案。比如漂亮国麻省理工学院研发了新型的光刻胶，可以更薄的涂在晶圆上，减少散射的影响。“
”嗯，既然有解决方法，有人去试验过吗？我们难道不可以综合一下这几种方法，去优化吗？“贺轩悻悻的问道
”这倒是有，2014年荷兰Mappe
公司与俄RUSNANO公司合资在莫斯科组建一家生产无掩膜光刻机核心组件微机电光学元件的工厂。该工厂生产的电子光学元件可以将一束电子束分成13000束电子束，并对每束电子束进行控制，从而极大提高了无掩膜电子束光刻机的生产效率，使这类光刻机用于设计阶段样品制造外，更加适应小批量生产的需求。如果我们采用这种办法的话，首先我们的钱不够，其次我们以后肯定不是局限于小批量的生产。所以主人，我建议等机械手臂研发出来了，我们再进行下一步的打算。”
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