筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”
“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外，还可以略微提高精度——别的不说，10%起码有的。”
苏远山再次点头：“然后呢？”
“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬！
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘，谬之千里”。
而且苏远山还知道，ASML的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？
“那麻烦在哪？”
“麻烦在于，我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”
“还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上，这个团队
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