“按配方配的。”林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”
赵四沉默了一会儿,环视车间。
这里条件确实简陋。洁净度最多千级,温度控制靠几台老空调,湿度完全看天气。
而他们要做的,是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。
这就像用生锈的刻刀在头发丝上雕刻。
“把所有人都叫来。”他忽然说,“开个现场会。”
十分钟后,车间里站了二十几个人。
除了北京来的核心团队,还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒,以及几个从其他单位借调来的专家。
大家都站着,没人坐。空气闷热,但没人擦汗。
“情况大家都看到了。”赵四开门见山,“良品率5%,等于100片里只有5片能用。这个成本,我们承受不起。更关键的是,如果连最简单的光刻都过不了关,后面的扩散、离子注入、金属化,更没戏。”
他顿了顿,目光扫过每个人:“现在不是互相埋怨的时候,也不是退缩的时候。我们需要找到问题,解决问题。每个人,说说自己的看法。从光刻胶开始。”
负责光刻胶的是个中年女技术员,姓王,以前在化工厂工作。她有些紧张:“赵总工,我……我都是按配方配的。原料是咱们能搞到的最好的,配比也是反复核对过的。”
“原料批次稳定吗?”
“不稳定。”王技术员实话实说,“这批重铬酸盐是天津产的,纯度标的是99%,但实际怎么样……我们没仪器测。”
“显影液呢?”
“显影时间控制不准。”一个年轻工人举手,“咱们的定时器是机械的,误差大。有时候差几秒钟,效果就完全不一样。”
“还有温度。”另一个说,“车间温度波动大,光刻胶的感光性会变。中午热的时候和晚上凉的时候,曝光时间得调。”
问题一个接一个地冒出来。设备老旧、材料不稳、环境控制差、操作经验不足……每一个问题单独看都不致命,但叠加在一起,就成了跨不过去的坎。
等大家都说完,车间里一片沉默。
沮丧的情绪像车间里的化学气味一样,弥漫在空气中,黏糊糊的,甩不掉。
“都说完了?”赵四问。
没人吭声。
“好,那我说几句。”他走到光刻机前,拍了拍那台老旧的机器,“这台机器,是东德二十年前的产品
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