路了。
当然，对于如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光，以及电子束投射(EPL)，离子投射(IPL)、甚至X光等等……
总之，就是解决的办法一箩筐，放眼望去全是路。
但具体哪一条是真正的正道，谁也不知道。
嗯，只有苏远山一个人知道。
因为这些方案，都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。
“林叔，赵叔，193nm之后你们的想法是什么？”坐到沙发上，苏远山端起茶杯抿了一口。
赵凯东和林本坚对视了一眼，随后笑着道：“193nm看样子都要停留很久，你这么着急？”
“我本来是不着急的。”苏远山很坦白：“主要是老美那边搞EUV，搞得我有点心慌。”
赵凯东便笑着摇了摇头：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”
“至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157nm，因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投入产出比太高了。”
“EUV，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”
苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”
“呵呵，不管是不是，但设计师不是有句话吗？摸着石头过河……既然前面有人趟路了，那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道：“intel不是拉了那么多企业吗？你也可以拉一个嘛。”
苏远山：“……”
他算是听明白了，赵凯东的意思是，让他也搞个EUV联盟。
苏远山倒是想搞，可现在要是搞的话，那就不是远芯主导，而是所有人给霓国人打工。
于是他便望向林本坚。
“林叔？你有什么妙招没有？”
（注：虽然有点枯燥，但……总归还是得写。。。）
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