最后程序……其中包括最核心的三项”
她用激光笔依次点着三份文件:
“第一,一种TEM/APT通用样品制备方法。核心是利用特定参数的FIB刻蚀和原位微纳操纵探针,在TEM观测的薄膜目标区域‘雕刻’出符合APT分析要求的纳米针尖。”
“第二,一种统一穿透测试视场的采样纳米针尖结构设计。这种特殊几何形状的针尖,确保TEM观测的视场区域与后续APT进行场蒸发的针尖顶端区域,在空间上高度重合或可精确对应。”
“第三,一种透射电子显微镜下的四自由度纳米操纵平台及其定位方法。集成了激光定位和图像识别算法,确保TEM观察后,能高精度、原位地将同一微区的样品针尖送入APT分析位置……”
“……”
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